與DeviceNet通信兼容的質(zhì)量流量控制器。

安裝在最新半導(dǎo)體制造設(shè)備中的控制設(shè)備越來(lái)越多地使用開(kāi)放現(xiàn)場(chǎng)工作通信來(lái)實(shí)現(xiàn)高速控制和簡(jiǎn)化布線(xiàn)，而不是模擬控制。

琳得科在業(yè)內(nèi)
開(kāi)發(fā)了 MC-5000L，這是一款符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)的 DeviceNet™ 通信質(zhì)量流量控制器。配備半導(dǎo)體制造所需的金屬密封件和環(huán)境溫度補(bǔ)償流量傳感器。還提供各種選項(xiàng)，例如兼容液化氣體。