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更新時間：2023-11-18 
瀏覽次數(shù)：175用于 EtherCAT 通信的高性能質量流量控制器。
適用于半導體工藝的高性能質量流量控制器 EtherCAT 通信版本。它符合 SEMI 標準，可以使用 EtherCAT 通信進行控制，該通信用于加速半導體制造設備的傳輸系統(tǒng)。
標準配備了半導體制造工藝所需的金屬密封件和琳得科的環(huán)境溫度補償流量傳感器，還可以添加與液化氣體兼容等選項。
精度±1%SP
金屬密封
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度保證傳感器
EtherCAT通訊
微流FS
兼容液化氣
大范圍
越來越多的半導體制造設備配備了 EtherCAT 通信（數(shù)字 I/F），用于高速控制機械臂等運輸系統(tǒng)。EtherCAT通信有65,536個節(jié)點，所有MFC測量系統(tǒng)和運動系統(tǒng)元件都可以集成到EtherCAT通信中。
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