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日本otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀

  • 產(chǎn)品型號:SF-3
  • 更新時間:2024-07-12

簡要描述:日本otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3
通過光學(xué)方法可以進行非接觸式和非破壞性的厚度測量。
實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性
可實時高速監(jiān)控拋光
實現(xiàn)了長 WD(工作距離)并且易于集成到設(shè)備中
從主機設(shè)備使用 LAN 通過 TCP/IP 通信進行控制
可以進行多層厚度測量
可測量臨時晶圓(臨時鍵合晶圓)各層厚度

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌價格區(qū)間20萬-50萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子,綜合

日本otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3

日本otsukael光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的介紹

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  • 通過光學(xué)方法可以進行非接觸式和非破壞性的厚度測量。

  • 實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性

  • 可實時高速監(jiān)控拋光

  • 實現(xiàn)了長 WD(工作距離)并且易于集成到設(shè)備中

  • 從主機設(shè)備使用 LAN 通過 TCP/IP 通信進行控制

  • 可以進行多層厚度測量

  • 可測量臨時晶圓(臨時鍵合晶圓)各層厚度

  • 實現(xiàn)顯微鏡下寬測量波長范圍(紫外到近紅外)的光學(xué)系統(tǒng)

  • 區(qū)域傳感器安全機制

  • 一個簡單的分析向?qū)?,即使是初次使用的用戶也可以進行光學(xué)常數(shù)分析

  • 配備可自定義測量順序的宏功能

  • 也可以分析復(fù)雜的光學(xué)常數(shù)(多點分析法)

  • 300mm載物臺兼容

  • 支持各種自定義



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