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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 | | |
日本sasaki-koki非接觸式測(cè)厚儀OZUMA CL
<應(yīng)用>
半導(dǎo)體晶圓(各種材質(zhì))硅、Si.GaAs、砷化鎵、金屬、化合物等高精度非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
<特點(diǎn)>
1.激光方法允許非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)并且不會(huì)造成劃痕或污染等損壞
2??蓪?shí)現(xiàn)高精度非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
3.可重復(fù)測(cè)量厚度、翹曲度、平行度等。
4.由于使用彼此垂直布置的激光傳感頭進(jìn)行測(cè)量,因此可以精確地測(cè)量厚度,而不會(huì)受到被測(cè)量物體的“翹曲"引起的浮起的影響。
<性能>
分辨率 0.01μm
最大測(cè)量范圍10mm
供電電源AC100V 50/60Hz 3A
重量:約10公斤
日本sasaki-koki非接觸式測(cè)厚儀OZUMA CL
<應(yīng)用>
半導(dǎo)體晶圓(各種材質(zhì))硅、Si.GaAs、砷化鎵、金屬、化合物等高精度非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
<特點(diǎn)>
1.激光方法允許非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)并且不會(huì)造成劃痕或污染等損壞
2??蓪?shí)現(xiàn)高精度非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
3.可重復(fù)測(cè)量厚度、翹曲度、平行度等。
4.由于使用彼此垂直布置的激光傳感頭進(jìn)行測(cè)量,因此可以精確地測(cè)量厚度,而不會(huì)受到被測(cè)量物體的“翹曲"引起的浮起的影響。
<性能>
分辨率 0.01μm
最大測(cè)量范圍10mm
供電電源AC100V 50/60Hz 3A
重量:約10公斤