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產(chǎn)品分類(lèi)一種壽命長(zhǎng)、價(jià)格低、性能高、可進(jìn)行多種啟閉操作的蝶閥。
長(zhǎng)壽命100萬(wàn)次循環(huán)
價(jià)格低廉 可以以較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)自動(dòng)壓力控制。
高性能:采用高性能伺服電機(jī)、伺服放大器、新型驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
可實(shí)現(xiàn)高性能泄漏規(guī)格(*注1)、多級(jí)位置控制、自動(dòng)壓力控制。
還可以通過(guò)閥門(mén) O 形圈提供緊固公差 O 規(guī)格,從而實(shí)現(xiàn)最小電導(dǎo)。
NW25 尺寸提供最小直徑 20A。(20A NW25 尺寸還可配備 O 形圈,實(shí)現(xiàn)閉的密封。)
低成本閥門(mén)MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是一款不帶閥門(mén)O型圈的電導(dǎo)控制專(zhuān)用電動(dòng)蝶閥。
采用通用性強(qiáng)的三菱電機(jī)伺服電機(jī)作為閥體的驅(qū)動(dòng)源,閥體可以停止并保持在全閉、全開(kāi)或任何其他位置。
現(xiàn)在可以多級(jí)改變閥門(mén)的開(kāi)口面積,使其能夠用于廣泛的應(yīng)用,例如保持真空容器內(nèi)的恒定壓力,改變閥門(mén)前后的壓力,以及改變排氣流導(dǎo)。
中間停止位置可通過(guò)計(jì)算機(jī)軟件或伺服放大器預(yù)先設(shè)定,內(nèi)存中最多可存儲(chǔ)13個(gè)位置。
通過(guò)從PLC等主機(jī)系統(tǒng)發(fā)送信號(hào),機(jī)器將以良好的重復(fù)性停止在設(shè)定位置。
通過(guò)將可選的雙自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列組合,可以實(shí)現(xiàn)包括自動(dòng)壓力控制在內(nèi)的各種控制。
法蘭型 | JIS/ISO/CF/NW |
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泄漏量 | 1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 |
使用面積 | 10 5 ~ 10 -6 帕 |
盤(pán)式密封 | 沒(méi)有任何 |
軸封 | Viton O 型圈 2 級(jí) |
口徑 | 20A~100A |
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電源規(guī)格 | 主電源 AC200V(額定電流 1.5A) 控制電源 AC200V(額定電流 0.2A) 接口電源 DC24V(最大 500mA) |
控制方式 | 交流伺服方式 |
氣體接觸材料 | SUS304 |